Описание
Двухчастотный лазерный интерферометр NOVA WAVE это высокоточная измерительная система, специально разработанная для фотолитографических машин. Он использует двулучепреломляющий лазер Зеемана, который гарантирует превосходство над обычным интерферометром с двухчастотным лазером Зеемана при измерениях на больших расстояниях. Интерферометр NOVA WAVE позволяет производить линейные и угловые измерения, измерения плоскостности, прямолинейности, параллельности, прямоугольности. Выпускается с различными значениями частоты от 1,5±0,5 МГц до 20,0 МГц, что позволяет выбрать подходящую систему под ваши задачи. Чем больше частота, тем больше скорость линейных измерений.
Конструктивно интерферометр NOVA WAVE состоит из лазерного блока и наборов оптических элементов, предназначенных для выполнения различных видов измерений. Номенклатура наборов зависит от поставленных измерительных задач. В состав систем входит комплект приспособлений для крепления лазерного блока и оптических элементов. Для учета влияния на результаты измерений параметров окружающей среды системы оснащены блоками компенсации. Лазерный блок и блок компенсации соединяются с ПК при помощи USB кабелей.
Для контроля поворотных осей интерферометр NOVA WAVE может использоваться совместно с калибратором поворотных осей LR60. Позиционирование поворотной оси имеет решающее значение для точности станков. Калибратор поворотной оси LR60 обеспечивает быструю калибровку поворотных осей с точностью ±1 угловая секунда. Компактный, лёгкий и простой в использовании LR60 работает на аккумуляторах и передает данные по Bluetooth.
Лазерные интерферометры NOVA WAVE широко используются в микроэлектронике, оптическом производстве, научных исследованиях, обучающем процессе и т.д.
Оборудование находится на этапе внесения в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации
Особенности и преимущества
Использует двулучепреломляющий лазер Зеемана, который гарантирует превосходство над обычным интерферометром с таким же лазером при измерениях на больших расстояниях.
Благодаря использованию двухчастотного гелий-неонового лазера не имеет нелинейной ошибки.
Большая разность частот: 1~20 МГц.
Высокая скорость измерений более 2 м/с.
Мощность более 0,5 мВт.
Линейный диапазон измерений составляет более 40 метров, что позволяет проводить многоосевые измерения.
Для контроля поворотных осей может использоваться совместно с калибратором поворотных осей LR60.
Малый размер, небольшой вес и простота в эксплуатации
Комплектация
Стандартная комплектация для линейных измерений:
Устройство NOVA WAVE (лазерный блок и блок компенсации)
Оптика для линейных измерений
Комплект крепления оптики
Программное обеспечение
Техническая документация (руководство по эксплуатации, паспорт)
Штатив
Чехол для штатива
Транспортировочный кейс
Стандартная комплектация для линейных и угловых измерений:
Устройство NOVA WAVE (лазерный блок и блок компенсации)
Оптика для линейных измерений
Оптика для угловых измерений
Комплект крепления оптики
Программное обеспечение
Техническая документация (руководство по эксплуатации, паспорт)
Штатив
Чехол для штатива
Транспортировочный кейс
Расширенная комплектация для линейных и угловых измерений:
Устройство NOVA WAVE (лазерный блок и блок компенсации)
Оптика для линейных измерений
Оптика для угловых измерений
Набор для измерений прямолинейности (0,1 - 4,0 м)
Набор для измерений прямолинейности (1,0 - 20,0 м)
Аксессуары для измерений прямолинейности
Малая призма для точных линейных измерений
Комплект для измерения прямоугольности
Комплект для измерения плоскостности
Комплект крепления оптики
Программное обеспечение
Техническая документация (руководство по эксплуатации, паспорт)
Штатив
Чехол для штатива
Транспортировочный кейс
Дополнительная комплектация (по запросу):
Калибратор поворотных осей LR60
Двухосевой комплект
Дополнительная информация
Оборудование внесено в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации.
ООО «Техинновации» осуществляет сервисное обслуживание в течении гарантийного и постгарантийного периода, а также обеспечивает проведение первичной метрологической поверки.
Собственный склад запасных частей и дополнительного оборудования, что позволяет оказывать оперативную доставку и поддержку клиента.
Характеристики
Точность
±0,3·L мкм
Диапазон измерений
от 0 м до 40 (80) м
Масса, кг
3,7
Габариты (Д×Ш×В), мм
330×110×130
Страна производства
Россия